3维形象测量

概要

3维形象测量仪利用光的干涉,具备0.1nm高度分辨力,可以纳米单位轻松、 测量 快速、准确地测量1nm~10mm的表面形象。相比接触式方式,不会对测量物造成 丝毫损害,且相比共焦方式,无关透镜倍率,具备相同的高度分辨率, 可准确测量,相比AFM方式,可快速测量更宽的领域。

Measurement

ㆍ 同时测量2D形象、3D形象

ㆍ 测量高度、深度、段差、线、圆、弧、角度、幅度、距离

ㆍ 测量面积粗糙度(ISO-25178)、线条粗糙度(ISO-4287)、波形

ㆍ 测量刮痕、磨损、缺陷、截面面积、体积

特点

ㆍ 测量以0.1nm单位的高分辨率

ㆍ 可以多种FOV大小测量

ㆍ 无论倍数为多少,都具备相同分辨率

ㆍ 可测量透明、半透明、不透明等多种样品

ㆍ 可轻松、快速、精确地进行测量

ㆍ 具有Piezo@Closed loop的高可靠性

ㆍ 自带设备状态监测功能

ㆍ Gage R&R优秀

产品原理

应用领域

Stud Bump 高度、厚度、深度、刮痕,
粗糙度、 波形、Warpage,
Coplanarity, 直径、 幅度、
角度、体积、 面积、圆度
CMP
CVD
Wafer
Substrate
(Pad, Trace, Space,
Anchor, Land,
Ball Pad, Via Hole,
Dimple, SR)
高度、厚度、深度、刮痕,
粗糙度、 波形、Warpage,
Coplanarity, 直径、 幅度、
角度、体积、 面积、圆度
BGA
Photo Space 高度、厚度、深度、刮痕,
粗糙度、 波形、Warpage,
Coplanarity, 直径、 幅度、
角度、体积、 面积、圆度
RGB
TFT Pattern
BLU
Metal Jet
Glass
OLED
MEMS 高度、厚度、深度、刮痕,
粗糙度、 波形、Warpage,
Coplanarity, 直径、 幅度、
角度、体积、 面积、圆度
Precision
machine part
Laser Marking
Inkjet
Micro Lens
Hardness
Battery
Bio
RFID