3维形象测量仪利用光的干涉，具备0.1nm高度分辨力，可以纳米单位轻松、 测量 快速、准确地测量1nm~10mm的表面形象。相比接触式方式，不会对测量物造成 丝毫损害，且相比共焦方式，无关透镜倍率，具备相同的高度分辨率， 可准确测量，相比AFM方式，可快速测量更宽的领域。
ㆍ 同时测量2D形象、3D形象
ㆍ 测量高度、深度、段差、线、圆、弧、角度、幅度、距离
ㆍ 测量面积粗糙度(ISO-25178)、线条粗糙度(ISO-4287)、波形
ㆍ 测量刮痕、磨损、缺陷、截面面积、体积
ㆍ 测量以0.1nm单位的高分辨率
ㆍ 可以多种FOV大小测量
ㆍ 无论倍数为多少，都具备相同分辨率
ㆍ 可测量透明、半透明、不透明等多种样品
ㆍ 可轻松、快速、精确地进行测量
ㆍ 具有Piezo@Closed loop的高可靠性
ㆍ 自带设备状态监测功能
ㆍ Gage R&R优秀
| Stud Bump |
高度、厚度、深度、刮痕, 粗糙度、 波形、Warpage, Coplanarity, 直径、 幅度、 角度、体积、 面积、圆度 |
|---|---|
| CMP | |
| CVD | |
| Wafer |
| Substrate (Pad, Trace, Space, Anchor, Land, Ball Pad, Via Hole, Dimple, SR) |
高度、厚度、深度、刮痕, 粗糙度、 波形、Warpage, Coplanarity, 直径、 幅度、 角度、体积、 面积、圆度 |
|---|---|
| BGA |
| Photo Space |
高度、厚度、深度、刮痕, 粗糙度、 波形、Warpage, Coplanarity, 直径、 幅度、 角度、体积、 面积、圆度 |
|---|---|
| RGB | |
| TFT Pattern | |
| BLU | |
| Metal Jet | |
| Glass | |
| OLED |
| MEMS |
高度、厚度、深度、刮痕, 粗糙度、 波形、Warpage, Coplanarity, 直径、 幅度、 角度、体积、 面积、圆度 |
|---|---|
| Precision machine part |
|
| Laser Marking | |
| Inkjet | |
| Micro Lens | |
| Hardness | |
| Battery | |
| Bio | |
| RFID |
