두 개의 축 사이에 박힌 수많은 볼(Ball) 대신에 공기를 불어넣어 볼의 역할을 할 수 있도록 고안한 것으로 양 축이 돌아가기 시작하면 공기가 팽창하면서 압축된 공기가 볼의 역할을 할 수 있도록 만든 것이다. 구름 베어링도 반도체 제조, 고정밀 스캐닝, 고속장비와 같은 응용분야에서 기술적인 한계에 부딪치고 있다. 에어베어링(air bearing)은 베어링의 마찰과 마모가 거의 없고, 고속· 고정도 특성 및 오일 윤활이 필요 없기 때문에 에어 베어링은 많은 기술적인 장점이 있다.
ㆍ 마찰과 마모가 거의 없고 고속. 고정도의 특정을 가지며 윤활이 필요 없음
ㆍ 무마찰로 인한 고성능 위치결정
ㆍ 속도 안정성으로 인한 스캐닝
ㆍ 표면평균 효과로 인한 낮은 오류
ㆍ 흔들림 없는 고속 회전 및 고속 직선 운동
좌표측정기, 초정밀 공작기계, 반도체 웨어퍼 공정, 의료기기, 광학 렌즈 제작기, 디지펄 프린터, 식각(Lithography), 정밀측정기, 다이어몬드 선반, 재료시험기, 스핀들, 폴리싱 장비, 웨이퍼 백그라인딩 장비, 다이싱 장비, 리니어 스테이지 등에 사용되고 있음.
| Speed Range | 10,000 ~ 200,000 rpm | Motor Power | 200 ~ 1,000 Watts |
|---|---|---|---|
| Bearing Air Supply Pressure | 5 ~ 6.0 kgf/cm² | Dynamic Runout | ≤ 10um |
| Dynamic Runout | ≤ 10um | Motor Type | 3 phase, 2 pole AC |
| Max Drill Size | 3.2 ~ 6.35mm | Body Diameter | 60 ~ 100mm |
* 구체적인 사양은 제작 시 협의하기 바람.
| Table Diameter Size | Φ 100 ~ Φ 1,000 mm | Speed Range | 0 ~ 200 rpm |
|---|---|---|---|
| Bearing Air Supply Pressure | 5 ~ 6.0 kgf/cm² | Dynamic Runout | ≤ 2um |
| Axial Load capacity | ≤ 3,000N |
* 구체적인 사양은 제작 시 협의하기 바람.
| Moving Guide | Air Bearing | Motor | Linear Motor |
|---|---|---|---|
| Feedback | Digital Linear Scale | Resolution | 0.1 ~ 0.001um |
| Velocity | 0~1,000mm/sec | Stroke | 30 ~ 2,000mm |
| Position Repeatability(Bi Direction) | 0.1um ~ 1um | Straightness | ± 1.0um |
| Flatness | ± 1.0um |
* 구체적인 사양은 제작 시 협의하기 바람.
