적용 분야

제품개요

두 개의 축 사이에 박힌 수많은 볼(Ball) 대신에 공기를 불어넣어 볼의 역할을 할 수 있도록 고안한 것으로 양 축이 돌아가기 시작하면 공기가 팽창하면서 압축된 공기가 볼의 역할을 할 수 있도록 만든 것이다. 구름 베어링도 반도체 제조, 고정밀 스캐닝, 고속장비와 같은 응용분야에서 기술적인 한계에 부딪치고 있다. 에어베어링(air bearing)은 베어링의 마찰과 마모가 거의 없고, 고속· 고정도 특성 및 오일 윤활이 필요 없기 때문에 에어 베어링은 많은 기술적인 장점이 있다.

특징

ㆍ 마찰과 마모가 거의 없고 고속. 고정도의 특정을 가지며 윤활이 필요 없음

ㆍ 무마찰로 인한 고성능 위치결정

ㆍ 속도 안정성으로 인한 스캐닝

ㆍ 표면평균 효과로 인한 낮은 오류

ㆍ 흔들림 없는 고속 회전 및 고속 직선 운동

응용분야

좌표측정기, 초정밀 공작기계, 반도체 웨어퍼 공정, 의료기기, 광학 렌즈 제작기, 디지펄 프린터, 식각(Lithography), 정밀측정기, 다이어몬드 선반, 재료시험기, 스핀들, 폴리싱 장비, 웨이퍼 백그라인딩 장비, 다이싱 장비, 리니어 스테이지 등에 사용되고 있음.