개요

이광성 흡수현상(Two-Photon Absorption) 원리를 이용해서 부피 분해능(Voxel Resolution)이 100nm 급의 구조를 프린팅할 수 있는 장비로 반도체, 디스플레이, 바이오, 센서, 광학, 항공 분야 등의 모든 산업 분야의 부품을 정밀하게 프린팅 가능함

적용 분야

ㆍ 반도체 부품 패키징, 마이크로 렌즈, DOE 패턴 등 다양한 광학패턴, LPAD 간 라인 연결

ㆍ 광통신/전사 산업 : 광 반도체, 고밀도 3차원 광 저장장치, 3차원 광 도파로, 3차원 광 결정체

ㆍ 의료/바이오 산업 : 3차원 바이오 칩, 3차원 극미세 채널 구조물, Bio-MEMS

ㆍ 환경/에너지 산업 : 3차원 필터, 3차원 마이크로 믹서, 촉매반응을 위한 3차원 구조물

ㆍ 디스플레이 산업 : 디스플레이 소자

원리

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레이저를 광경화성 고분자 수지에 주사한 후, 레이저 스캐닝 방식을 이용하여 마이크로 형상을 제작하는 방식이다. 이때 경화방식은 레이저의 침두 출력이 매우 높은 부분에서만 두 개의 광자 에너지를 동시에 흡수하는 현상인 이광자 흡수에 의한 경화 현상을 활용하였음.

  • * CURED REGION = VOXEL (VOLUME PIXEL)
  • VOXEL RESOLUTION
  • WIDTH(W) : < 100nm
  • HEIGHT(H) : < 300nm
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